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日本ulvac进口低温泵 CRYO-U系列 冷冻U30H 超真空冷冻机
| 抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 28,000 | 
| 氢 | 43,000 | ||
| 氩气 | 23,000 | ||
| 水 | 70,000 | ||
| 极限压力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流量 | 氩气 | Pa·L/s(托·L/s) | 2.7×10 3 (20) | 
| 氢 | 7.4×10 2 (5.6) | ||
| 排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 7.8×10 8 (5.9×10 6 ) | 
| 氢 | 1.5×10 7 (1.1×10 5 ) | ||
| 冷却时间 (电源循环)  | 小(赫兹) | 240/200(50/60) | |
| 进气法兰 | VG-750 | ||
| 压缩机组 | C30VRT×2 | ||
| 大量的 | 公斤 | 175.0 | |
*维护间隔:16,000小时
U22H和U30H根据外汇和对外贸易管理法被归类为战略物品和其他出口管制产品。
将产品带出日本时,请办理向日本政府申请出口许可等必要手续。