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日本进口爱发科涡轮分子泵 UTM-MI
产品型号： UTM-MI
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
特征
控制器与泵体集成在一起
泵体和控制器之间无需接线。
自由安装方向
自由安装方向使系统设计更加灵活。
适用于轻工业过程的宽范围和高流量。
泵旋转角度可在 25% 至 100% 之间调节，
通过改变旋转速度可以调节腔内的压力。
高耐久性、安全性
通过了空气冲入试验、接地试验等安全确认试验。
应用
日本进口爱发科涡轮分子泵 UTM-MI
| 模型 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 进气口 | 威格士 150 | ISO 160F | 维他命 200 | 威格士 250 | ISO 200F | ISO 250F | 威格士 250 | ISO 250F | 维珍 300 | 威格士 350 | ISO 320F | |
| 出水口 | KF40 | |||||||||||
| 极限压力 *1 | 10 -7帕斯卡 | |||||||||||
| 抽气 速度 *2*3 | 氮气 | 1030 升/秒 | 1400 升/秒 | 2100 升/秒 | 3200 升/秒 | |||||||
| 应收账 | 980 升/秒 | 1330 升/秒 | 2000 升/秒 | 3100 升/秒 | ||||||||
| 氢气 | 660 升/秒 | 750 升/秒 | 1380 升/秒 | 2100 升/秒 | ||||||||
| 压缩率 | 氮气 | 2×10 8 | ≧ 1×10 8 | ≧ 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 7×10 3 | 5×10 3 | 1×10 5 | |||||||||
| 氢气 | 8×10 2 | 9×10 2 | 6×10 3 | |||||||||
| 入口 压力*4 | 二十六 帕 | 4.5帕 | 七 帕 | |||||||||
| 出口 压力*4 | 266 帕 | 200帕 | 270帕 | |||||||||
| 旋转速度 | 37200 分钟-1 | 33700 分钟-1 | 27600 分钟-1 | |||||||||
| 速度变化 | 转速在额定转速的25%~之间可调（设定为0.1%） | |||||||||||
| 启动时间 | ≦8分钟 | ≦9分钟 | ≦16分钟 | |||||||||
| 安装 位置 | 朝任意方向 | |||||||||||
| 表面 处理*5 | 没有任何 | |||||||||||
| 沟通 | 接触 | D-sub 25针母头触点输入和输出信号 | D-sub 37针母头 触点输入和输出信号 | |||||||||
| 串行 | 串行连接器 RS232C/RS485 | D-sub 9 针公头 RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 作品 | 带集成控制器的泵 | ||||||||||
| 输入 电 功率 | 单相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） | |||||||||||
功率 | 0.75千伏安 | 1.2千伏安 | ||||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||||||||
| 冷却 水*6 | 流速 | 3～4升/分钟 | ||||||||||
| 压力 | 0.2～0.4MPa压力 | |||||||||||
| 噪音 | 57 分贝（A） | 60 分贝（A） | ||||||||||
| 重量 | 43公斤 | 41公斤 | 56公斤 | 94公斤 | ||||||||
| 推荐 前级泵 *7 | ≧ 600升/分钟 | ≧ 1500升/分钟 | ||||||||||
| 适用标准 | CE、TUV | |||||||||||
| 标准配件 | O型圈(仅限VG)、防尘盖(出气口)、?？仄鹘涌凇⑹褂盟得魇?CD-ROM) | |||||||||||
| 选择 零件 | 交流电缆 | AC连接器/AC电缆（5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| 固定泵专用 螺栓 | M10/ M12 | |||||||||||
固定泵专用螺栓 | 需（M10) *8 | 不需要*8 | ||||||||||
| 选项 | 气体吹扫适配器（KF10） | |||||||||||
*表示1位数字。
*2无?；ね?。
*3计算值：UTM2300A和UTM3400A
*4入口压力和出口压力不能同时满足。
*5不要流动反应性气体和腐蚀性气体。使用其他气体时请与我们联系。
*6不凝结
*7抽真空时30SCCM
*8螺栓等级，固定方法等受各种条件限制。请联系
我们获取详细信息。
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